Klíčovým rozdílem mezi mikroanalýzou a semi mikroanalýzou je to, že mikroanalýza se používá k analýze materiálu, který má méně než 10 mg hmoty, zatímco semi mikroanalýza se používá k analýze materiálu, který má přibližně 100-500 mg hmoty.
Mikro a semi-mikro analýza jsou dva typy kvalitativní analýzy, což je analýza materiálu na základě jeho vlastností místo jejich množství. Mikroanalýza označuje analýzu materiálu s velikostí částic v mikroskopickém měřítku. Pro mikroanalýzu lze použít různé metody. Semi mikroanalýza je na druhé straně rozvinutou metodou mikroanalýzy.